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無(wú)塵車(chē)間可以分為以下幾個(gè)級別: 一、 1級無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求為亞微米?! 《?、 10級無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)?! ∪?、100級無(wú)塵室可用于醫藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用...
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