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潔凈室的起源可以追溯到18世紀的歐洲醫學(xué)。當時(shí),為了降低手術(shù)感染率,醫生們開(kāi)始對手術(shù)部位進(jìn)行酒精消毒,并采取其他一些措施來(lái)減少手術(shù)室的細菌數量。這就是早期潔凈室概念的萌芽。
到了20世紀,隨著(zhù)科技的發(fā)展和戰爭的需要,潔凈室的概念逐漸得到廣泛應用。特別是在美國,由于在朝鮮戰爭時(shí)期,美國軍隊發(fā)現雷達等電子儀器故障率奇高,每年維護費甚至超出原價(jià),原因就在于工廠(chǎng)生產(chǎn)環(huán)境不清潔導致零部件可靠性差,質(zhì)量不穩定。后來(lái)在生產(chǎn)車(chē)間引入高效空氣過(guò)濾器后方解決問(wèn)題,這就是現代潔凈室的誕生。
到了1970年代,集成電路、大規模和超大規模集成電路等開(kāi)始蓬勃發(fā)展,潔凈技術(shù)也開(kāi)始快速發(fā)展。從1990年代開(kāi)始至今,半導體技術(shù)飛速發(fā)展,精度不斷提高,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了新的要求,潔凈技術(shù)開(kāi)始騰飛。我國在20世紀50年代末開(kāi)始,研究應用潔凈技術(shù),并逐步從軍工走向民用。雖然國內引進(jìn)潔凈室屬于比較晚的,但一經(jīng)引進(jìn)也得到快速的發(fā)展,現如今,食品、電子、醫藥、精密機械等行業(yè)都出現了潔凈室的身影。
目前,潔凈室已經(jīng)成為半導體集成電路制造環(huán)節中重要的一環(huán),直接決定了產(chǎn)品的成敗。同時(shí),潔凈室在電子、光學(xué)、醫療、制藥、食品及生化等行業(yè)也得到了廣泛應用。由于不同產(chǎn)品不同行業(yè)對于潔凈度的要求存在著(zhù)較大的區別,所以潔凈室也是出現了各種標準,比方說(shuō)ISO標準,美聯(lián)邦標準等。潔凈室在醫藥行業(yè)的應用也是得到廣泛的應用的,為此,還有專(zhuān)門(mén)的醫藥潔凈度標準,也就是gmp標準,可將潔凈車(chē)間分為ABCD四個(gè)等級??傊?,潔凈室和我們生活的方方面面有著(zhù)千絲萬(wàn)縷的關(guān)系,未來(lái),也將發(fā)揮更重要的作用。