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百級潔凈室對應的ISO標準是ISO 5級。ISO 14644-1標準對潔凈室的潔凈度等級進(jìn)行了劃分,百級潔凈室即為其中的ISO 5級。
這一標準是為了有效控制潔凈室內空氣中顆粒物的濃度而制定的,對潔凈室的壓力、溫度、濕度、氣流速度等參數也有明確的要求。例如,室內正壓通常為5~15Pa,溫度應控制在18~25℃,相對濕度為45~65%。同時(shí),對于百級潔凈室,其空氣中允許的最大顆粒物濃度也有具體規定,包括不同粒徑顆粒物的允許數量。因此,在設計和建造百級潔凈室時(shí),需要遵循ISO 5級的相關(guān)標準和要求,以確保其達到所需的潔凈度水平。
ISO5級潔凈室的標準是,每立方米內,大于或等于0.5微米的微粒數量應低于3.520個(gè),這與Fed Std.209E標準中的100(百)級潔凈度相當。在ISO5級潔凈室中,我們強烈推薦廣泛采用電離設備,以有效中和靜電。潔凈室內的工作人員必須身著(zhù)無(wú)塵服,這種服裝需全面覆蓋人體的身體、頭部、面部、手部和眼睛,確保無(wú)塵環(huán)境。在工作站和生產(chǎn)線(xiàn)現場(chǎng),我們可以觀(guān)察到所有離子消除設備的安裝與運作。我們應盡量避免在無(wú)塵室內使用可能產(chǎn)生污染的含碳材料以及含有銨基的抗靜電劑材料及其相關(guān)產(chǎn)品。由于導電聚合物具備不依賴(lài)吸濕性以及在非極性溶劑中清洗時(shí)仍能維持其抗靜電性能的優(yōu)勢,因此在潔凈室中得到了廣泛應用。
在進(jìn)入ISO5級潔凈室前,物品必須經(jīng)過(guò)嚴格的清洗和二次包裝,隨后通過(guò)風(fēng)淋室進(jìn)行凈化處理。工作人員佩戴的手套必須完全覆蓋手臂,確保沒(méi)有裸露的皮膚。值得注意的是,氨基抗靜電劑材料中的氨基成分可能會(huì )對器件表面造成污染,因此乙烯基抗靜電桌墊只能在潔凈室內使用,除非其不含有此類(lèi)抗靜電劑。此外,未經(jīng)凈化的普通紙和筆也不得在潔凈室內使用。
為了確保潔凈室的正常運行和產(chǎn)品質(zhì)量,制造商應配備一名或多名專(zhuān)業(yè)的凈化控制工程師,負責處理靜電放電(ESD)問(wèn)題和去污問(wèn)題。對于那些體積較大,無(wú)法使用雙層袋包裝的設備,在進(jìn)入潔凈室之前,必須使用70%的非極性清潔劑進(jìn)行擦拭或用去離子水進(jìn)行清洗,以確保其表面的清潔度符合潔凈室的要求。
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