什么是潔凈室

2020-05-08 15:39 昆山清陽(yáng)凈化系統工程有限公司

潔凈室(CleanRoom)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。

潔凈室的發(fā)展與現代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業(yè)（如大規模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內曾統計過(guò)，在無(wú)潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。

潔凈室的分類(lèi)：

一、按氣流的流動(dòng)狀態(tài)分類(lèi)：

根據氣流的流動(dòng)狀態(tài)分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室 ：

（1） 非單向流潔凈室：以前常稱(chēng)為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)共同的特點(diǎn)：終端過(guò)濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口，也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上；回風(fēng)口均設在潔凈室的下部，目的是避免出現“揚灰”現象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。

（2） 單向流潔凈室：?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€(xiàn)平行，以單一方向流動(dòng)，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

（3） 矢量潔凈室：在房間的側上角送風(fēng)，采用扇形高效過(guò)濾器，也可以用普通高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側的下部設回風(fēng)口，房間的高長(cháng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類(lèi)型，但是實(shí)際應用時(shí)可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區域（單向流部分）實(shí)現高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設水平單向流的“隧道”（一側敞開(kāi)），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實(shí)現“隧道”部分達到5級以上潔凈度，工作臺就設在“隧道內”。

二、按受控粒子的性質(zhì)劃分

（1）工業(yè)潔凈室：受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。

（2）生物潔凈室：受控粒子為生物粒子的潔凈室。

主要作用：

潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。

按照國際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。